Details
Die BAM bietet das Testmaterial EDS-TM002 an, dessen Spektrum empfindlich auf Funktionsstörungen des EDS reagiert. Alle notwendigen Messungen für die Funktionskontrolle eines EDS an einem Rasterelektronenmikroskop gemäß ISO 15632:2021 "Micorbeam Analysis - Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis" können mit dieser einzigen Probe durchgeführt werden. Sie besteht aus einer ca. 6 µm dicken Schicht, die die Elemente C, Al, Mn, Cu und Zr enthält, auf einem Siliziumsubstrat.
Die Auswertung der Messung ist prinzipiell mit der von den Spektrometerherstellern angebotenen Software möglich. Sie kann jedoch einfacher und schneller mit der zum EDS-TM002 angebotenen Software "EDX Spektrometer Test" durchgeführt werden. Die Software setzt voraus, dass der Detektor ein Dünnfilmfenster besitzt. Sie ist nicht für die Detektoren mit Beryllium-Fenster anwendbar.
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Beim Kauf von EDS-TM002 mit Software: Vor Lieferung müssen Sie den für die Software verbundenen Lizenzvertrag unterschreiben. Weitere Informationen hierfür erhalten Sie im Falle einer Bestellung auf Ihre angegebene E-Mail-Adresse.
